Acmewin International Corp. 以具備熱能回收功能的晶圓處理設備,於 2023 高雄國際發明暨設計展獲得金牌。
此項開發探討將熱能回收應用於半導體電漿製程設備的能源效率改善。
實際能源與製程效益取決於設備配置、配方條件與專案驗證。
Acmewin 持續開發電漿設備、節能概念與生命週期工程解決方案。
Acmewin International Corp. 以具備熱能回收功能的晶圓處理設備,於 2023 高雄國際發明暨設計展獲得金牌。
此項開發探討將熱能回收應用於半導體電漿製程設備的能源效率改善。
實際能源與製程效益取決於設備配置、配方條件與專案驗證。
Acmewin 持續開發電漿設備、節能概念與生命週期工程解決方案。