Aspen2 升級概覽
Acmewin 針對指定 Aspen II 設備，評估控制系統現代化、機械手臂回授升級、RF 與真空系統替換、晶圓廠通訊整合及停產元件替換。
控制系統現代化
指定配置須依已安裝型號、版本與升級目標進行評估。
機器人／運動控制升級
指定配置須依已安裝型號、版本與升級目標進行評估。
RF 系統升級
指定配置須依已安裝型號、版本與升級目標進行評估。
真空系統升級
指定配置須依已安裝型號、版本與升級目標進行評估。
SECS/GEM／HSMS 整合評估
指定配置須依已安裝型號、版本與升級目標進行評估。
停產零件替代
指定配置須依已安裝型號、版本與升級目標進行評估。
控制系統現代化
IPC 升級
評估工業電腦替換與介面現代化。
以 Windows 為基礎的 HMI
支援設備狀態、配方、警報與歷史紀錄功能的現代化操作介面。
配方/趨勢/警報功能
現代化的操作與資料檢視功能須依專案範圍進行評估。
舊式 QNX 的現代化
可依設備配置評估從舊有 QNX 操作環境轉換至 Windows 控制介面。
機械手臂與運動控制升級
Aspen II Robot 磁性尺閉迴路升級
直接 Z 軸位置回授，可提升位置驗證、警報防護及服務診斷能力。
實際 Z 軸位置回授
磁性尺可測量實際移動軸位置，並提供更接近晶圓搬送風險點的回授。
誤差補償與保護
小範圍的偏差可以在設定範圍內修正；較大的偏差則會觸發保護警報處理。
標準化診斷功能
回授、追隨誤差與狀態資訊可支援結構化故障排除及服務評估。
舊式與新式架構比較
| 項目 | 舊式本地閉迴路 | 磁性尺閉迴路 |
|---|---|---|
| 回授功能 | 馬達側編碼器 | 實際 Z 軸磁性尺 |
| 保護裝置 | 失步檢測及警報 | 在允許範圍內修正，超出限制則發出警報 |
| 診斷 | 依賴於舊式控制盒及零件 | 更標準化的回授及狀態診斷 |
| 建議使用 | 歷史維護/過渡期支援 | 建議採用的後續升級架構 |
RF 與真空系統升級
RF Generator 更換
RF 產生器替換須依輸出、介面與設備配置進行評估。
RF Matching Network 升級
匹配網路方案須依 RF 產生器、電漿負載與已安裝介面進行評估。
壓力控制升級
壓力控制升級評估可包含控制器相容性與特定製程需求。
真空閥門/泵浦更換
真空元件替換須依已安裝的閥件、泵浦與介面需求進行評估。
SECS/GEM 與晶圓廠整合
晶圓廠通訊與設備資料整合可依已安裝的控制系統、主機端需求及設備配置進行評估。
SECS/GEM / HSMS
整合需求須依專案範圍與已安裝的控制架構進行評估。
警報／事件回報
若已安裝系統支援，可評估警報、事件與設備狀態回報功能。
資料蒐集評估
配方管理與資料蒐集需求須依晶圓廠介面要求進行評估。
停產零件替代
工業用 PC
替換選項須依已安裝型號、版本、介面與功能需求進行評估。
控制板
替換選項須依已安裝型號、版本、介面與功能需求進行評估。
RF Generator
替換選項須依已安裝型號、版本、介面與功能需求進行評估。
真空元件
替換選項須依已安裝型號、版本、介面與功能需求進行評估。
運動控制／機械手臂元件
替換選項須依已安裝型號、版本、介面與功能需求進行評估。
設備升級評估流程
設備識別
確認設備型號和安裝配置。
配置評估
確認控制版本、機械手臂配置與現有元件型號。
相容性評估
評估介面、版本與功能需求。
升級提案
準備專案專用的升級範圍以供評估。
安裝與驗證
安裝和驗證將根據批准的專案範圍進行。
詢問準備指南
為加速評估，請提供設備型號、控制版本、機械手臂配置、目前故障或限制、現有元件型號、升級目標、已安裝系統照片及所需晶圓廠介面。
請勿提交密碼、客戶配方、受限制圖面或機密軟體資料。
評估您的 Aspen II 升級需求
請提供設備型號、控制版本、已安裝配置與升級目標，以進行工程評估。