半導體電漿製程設備
適用於半導體製造的先進乾式去光阻設備平台
Acmewin 為半導體製造開發 Aibo Dry Asher 設備平台，並提供設備升級、零件支援與製程解決方案。
Aibo Dry Asher 系列整合電漿製程能力、真空系統、晶圓搬送與可配置的控制架構，適用於光阻去除、去殘膠、Lite Etch 與電漿清潔製程。
工程解決方案
半導體設備工程解決方案
Acmewin International Corp. 提供半導體設備開發、翻修、升級、零件供應與技術支援服務。
我們的工程能力涵蓋電漿製程系統、RF 功率傳輸、真空控制、晶圓搬送、設備自動化與生命週期支援。
Acmewin 結合設備工程、現場服務經驗與自主研發能力，為舊有設備及新平台需求提供務實的解決方案。
Aibo 產品系列
Aibo Dry Asher 設備平台
三種 Aibo 平台定位對應不同的晶圓尺寸、升級策略與生產需求。平台選擇取決於製程應用、腔體配置及晶圓廠整合需求。
核心能力
整合式設備工程
半導體電漿設備需要 RF、真空、運動控制、軟體及製程子系統的協同整合。Acmewin 以工程研發與生命週期服務經驗支援這些領域。
ICP 電漿技術
可配置的電漿製程能力，適用於光阻去除、去殘膠、Lite Etch 及電漿清潔應用。
RF 功率傳輸
支援電漿設備應用所需的 RF 產生器、匹配網路與功率分配整合。
真空與壓力控制
提供壓力控制器、節流閥、真空閥及腔體壓力整合支援。
設備自動化與整合
配方管理、HMI、運動控制、設備監控及晶圓廠介面整合。
製程應用
乾式去光阻製程應用
Aibo 製程應用會依晶圓結構、材料堆疊、製程順序與目標結果進行評估。實際表現取決於配方配置與系統條件。
光阻去除
支援指定微影後、離子植入後及蝕刻後製程階段的電漿光阻去除。
去殘膠
去除薄層光阻殘留，支援圖案準備與後續製程。
Lite Etch
以受控電漿處理支援輕度表面處理與製程開發需求。
電漿清潔
針對指定晶圓與腔體條件進行有機污染物及製程殘留處理。
品質管理
ISO 9001:2015 品質管理系統
Acmewin 維持 ISO 9001:2015 品質管理系統，範圍涵蓋半導體設備安裝、二手設備翻修、零件銷售，以及設備組裝與製造。
- 證書編號 IAS-QMS-24-029
- 有效期間：2025-10-21 至 2027-10-20
- 設備安裝
- 二手設備翻修
- 零件銷售
- 設備組裝與製造
ASPEN2 服務
二手設備、零件與生命週期支援
Aspen2 提供二手設備、替換零件、維修、升級及預防保養的服務入口。
討論您的設備或製程需求
請提供設備型號、製程應用、料號、目前問題或升級目標。Acmewin 將協助進行技術審查與解決方案評估。