升级概览
现代化控制、界面与晶圆厂通信支持。
Acmewin 为旧干式去胶设备平台提供现代化方案，重点涵盖操作员界面、控制硬件、配方管理、数据历史与晶圆厂集成。
GUI 现代化
Aspen II GUI 与 Aibo I GUI 对比
Windows GUI 可取代旧命令行操作；鼠标与触摸屏支持可改善控制系统现代化期间的操作流程。
硬件现代化
以 PCI／PCIe 控制卡替代旧式 ISA 控制卡，可延长设备使用寿命并提高可维护性。
软件现代化
Windows GUI、报警历史与设备通信功能可支持现代化操作。
SECS/GEM 与高速通信
SECS/GEM 与晶圆厂通信集成须根据已安装配置与项目要求进行评估。
配方编辑器
配方编辑可改善工艺设置与操作员查看流程。
数据历史记录
数据历史追踪有助于查看工艺记录与设备运行状况。
Z 轴闭环控制
Z 轴闭环反馈方案须根据已安装的 Robot 配置与升级要求进行评估。
主要优点
延长旧干式去胶设备平台的生命周期。
- 支持鼠标与触摸屏的现代化操作界面
- 配方编辑器和数据历史追踪功能
- 设备通信现代化
- SECS/GEM 晶圆厂集成支持
- 晶圆厂通信集成评估