升級概覽
現代化控制、介面與晶圓廠通訊支援。
Acmewin 為舊有乾式去光阻設備平台提供現代化方案，重點涵蓋操作員介面、控制硬體、配方管理、資料歷史與晶圓廠整合。
GUI 現代化
Aspen II GUI 與 Aibo I GUI 比較
Windows GUI 可取代舊有命令列操作；滑鼠與觸控螢幕支援可改善控制系統現代化期間的操作流程。
硬體現代化
以 PCI／PCIe 控制卡替代舊式 ISA 控制卡，可延長設備使用壽命並提升可維護性。
軟體現代化
Windows GUI、警報歷史與設備通訊功能可支援現代化操作。
SECS/GEM 與高速通訊
SECS/GEM 與晶圓廠通訊整合須依已安裝配置與專案需求進行評估。
配方編輯器
配方編輯可改善製程設定與操作員檢視流程。
資料歷史
資料歷史追蹤有助於檢視製程紀錄與設備運作狀況。
Z 軸閉迴路控制
Z 軸閉迴路回授方案須依已安裝的 Robot 配置與升級需求進行評估。
主要優點
延長舊有乾式去光阻設備平台的生命週期。
- 支援滑鼠與觸控螢幕的現代化操作介面
- 配方編輯器和資料歷史追蹤功能。
- 設備通訊現代化
- SECS/GEM 晶圓廠整合支援
- 晶圓廠通訊整合評估