Aibo I Dry Asher
適用於指定舊有半導體設備的精簡型乾式去光阻平台與現代化方案。
產品概述
Aibo I Dry Asher 適用於指定的半導體光阻去除、電漿清潔與舊有設備現代化需求。控制、RF、真空及軟體升級項目須依現有設備配置進行評估。
- 精簡型系統架構
- 4 吋至 8 吋指定應用評估
- RF 與電漿升級方案
- Windows HMI 現代化
- 設備生命週期支援
平台功能
電漿製程
依製程與腔體配置支援光阻去除及指定電漿清潔應用。
RF 功率系統升級
RF 產生器與匹配網路升級方案須依已安裝系統及製程需求進行評估。
真空與壓力控制
真空閥件、壓力控制與腔體整合方案須依現有設備狀況進行評估。
設備現代化
控制系統、HMI、資料監控與停產零件替代方案，可納入設備生命週期升級評估。
Windows 控制系統升級
Aibo I 現代化可支援從舊有操作流程轉換至 Windows 控制介面，重點涵蓋操作員功能與系統現代化方案。
HMI 操作面板
控制介面
供操作員檢視設備狀態與執行操作流程的介面。
主控制畫面
GUI
用於掌握操作狀態與設備監控的主要介面。
配方編輯器
GUI
用於受控製程設定的配方管理介面。
資料歷史
GUI
用於檢視製程與設備趨勢及歷史資料的畫面。
本網站不公開詳細連線指令、介面參數、檔案位置、存取憑證、製程配方或非公開控制細節。
設備圖庫
圖庫呈現 Aibo I 設備與控制介面。
安裝系統
設備
Aibo I 安裝的系統側視圖。
正面局部圖片
設備
Aibo I 前側設備視圖。
正面開放圖片
設備
Aibo I 前開視圖，用於展示設備相關內容。
HMI 細節圖片
控制介面
Aibo I HMI 與 Loadlock 細節圖片。
配方編輯器
控制介面
Aibo I 配方編輯器畫面。
資料歷史
控制介面
Aibo I 資料歷史圖表畫面。
升級效益
改善操作介面
現代化 HMI 畫面可提升操作資訊可視性，並降低對舊有工作流程的依賴。
配方管理
配方檢視與管理功能須依已安裝設備的製程需求進行評估。
製程資料可視性
資料歷史與趨勢畫面可支援設備檢視及維護規劃。
警報與歷史紀錄檢視
警報與事件歷史可支援故障排除及操作檢視。
停產元件替換
可評估指定的停產控制與介面元件，以進行替換或現代化。
長期設備支援
生命週期支援可協助客戶評估可行的升級與維護方案。
Z 軸閉迴路回授方案須依已安裝的機械手臂配置與專案需求進行評估。
相關產品/解決方案
評估您的 Aibo I 升級或替換需求
請提供現有設備型號、晶圓尺寸、製程應用、目前控制系統與升級目標，以進行工程評估。