預防保養支援
Acmewin 提供特定 Aspen II 設備配置、模組與版本的預防保養套件評估。
套件內容與供應狀態須依設備型號、模組或腔體、版本、已安裝元件配置、保養範圍及現有料號確認。
PM 套件類別
腔體密封件套件
密封件和腔體相關的套件內容會根據腔體配置和維護範圍來進行審查。
請聯絡確認供應狀態
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O 型圈和密封件套件
O 型圈和密封件更換支援可根據安裝的模組、版本以及現有的元件照片來確定。
請聯絡確認供應狀態
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真空閥維護套件
真空閥維護支援可能包括與閥門相關的服務元件及相容性評估。
請聯絡確認供應狀態
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機械手臂／運動系統保養套件
機械手臂、SMIF 與運動系統保養支援須依總成類型、安裝位置與版本進行評估。
請聯絡確認供應狀態
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RF／ICP 保養套件
RF 及 ICP 維護支援會根據電漿子系統配置及服務目標進行評估。
請聯絡確認供應狀態
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氣體/MFC 服務套件
氣體、MFC 及壓力控制服務支援會根據安裝的元件配置進行評估。
請聯絡確認供應狀態
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Loadlock 維護套件
Loadlock 保養支援須依腔體、晶圓卡匣與搬送模組配置確認。
請聯絡確認供應狀態
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客製化 PM 套件評估
當提供現有紀錄、照片及模組資訊時，會對客製化 PM 套件的要求進行評估。
請聯絡確認供應狀態
索取報價套件識別及相容性
必須提供的資訊
- 設備型號
- 模組/腔體
- 現有料號
- 版本
- 安裝元件的照片
- 必須的維護範圍
- 必須的數量
相容性說明
預防保養套件的供應狀態與內容取決於設備配置、版本及已安裝模組。請聯絡 Acmewin 進行技術確認。
套件內容會在配置評估後確認。
維護範圍
密封件更換
密封相關替換支援須依腔體、模組及已安裝零組件狀況進行評估。
腔體維護
根據設備配置和維護目標來確定腔體維護範圍。
閥門服務
閥件服務可包含元件識別、供應狀態確認與翻修評估。
運動系統／機械手臂保養
運動系統與機械手臂相關支援須依總成類型、版本與安裝位置進行評估。
RF/ICP 服務支援
RF 和 ICP 的支援需根據子系統配置和服務要求進行審查。
Loadlock 維護
Loadlock 保養評估取決於搬送、晶圓卡匣與腔體側配置。
可供評估的套件紀錄
詢問準備指南
為加速評估，請提供設備型號、腔體或模組、料號、版本、數量、目前設備狀況、已安裝零組件照片及保養目標。
請勿提交密碼、客戶配方、內部原始碼或受限制的客戶資訊。
申請 Aspen2 預防保養套件支援
請提供設備型號、模組、版本、現有料號及保養需求，以確認預防保養套件與供應狀態。